| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 002222 | 福晶科技 | 351,630.00 | 12,029,262.30 | 9.38 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 28,912.00 | 12,027,392.00 | 9.38 |
| 3 | 688652 | 京仪装备 | 181,114.00 | 11,229,068.00 | 8.76 |
| 4 | 688502 | 茂莱光学 | 39,911.00 | 10,323,379.26 | 8.05 |
| 5 | 688361 | 中科飞测 | 116,417.00 | 9,245,838.14 | 7.21 |
| 6 | 688012 | 中微公司 | 41,328.00 | 7,619,230.08 | 5.94 |
| 7 | 688200 | 华峰测控 | 49,215.00 | 7,059,891.75 | 5.51 |
| 8 | 688010 | 福光股份 | 174,872.00 | 6,417,802.40 | 5.00 |
| 9 | 688981 | 中芯国际 | 70,197.00 | 6,270,698.01 | 4.89 |
| 10 | 002008 | 大族激光 | 212,000.00 | 5,931,760.00 | 4.63 |
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