| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 66,800.00 | 27,788,800.00 | 16.35 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 123,695.00 | 22,804,410.20 | 13.42 |
| 3 | 688126 | 沪硅产业 | 514,512.00 | 9,554,487.84 | 5.62 |
| 4 | 688120 | 华海清科 | 43,741.00 | 7,232,574.35 | 4.26 |
| 5 | 688072 | 拓荆科技 | 42,792.00 | 6,740,167.92 | 3.97 |
| 6 | 300346 | 南大光电 | 177,400.00 | 6,464,456.00 | 3.80 |
| 7 | 300604 | 长川科技 | 135,200.00 | 5,635,136.00 | 3.32 |
| 8 | 300054 | 鼎龙股份 | 196,500.00 | 5,614,005.00 | 3.30 |
| 9 | 002409 | 雅克科技 | 88,000.00 | 5,453,360.00 | 3.21 |
| 10 | 688037 | 芯源微 | 51,497.00 | 5,063,185.04 | 2.98 |
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