| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688012 | 中微公司 | 2,400.00 | 442,464.00 | 0.55 |
| 2 | 688126 | 沪硅产业 | 10,200.00 | 189,414.00 | 0.23 |
| 3 | 002371 | 北方华创 | 400.00 | 166,400.00 | 0.21 |
| 4 | 688120 | 华海清科 | 900.00 | 148,815.00 | 0.18 |
| 5 | 688072 | 拓荆科技 | 900.00 | 141,759.00 | 0.18 |
| 6 | 688019 | 安集科技 | 600.00 | 100,794.00 | 0.13 |
| 7 | 688361 | 中科飞测 | 1,200.00 | 95,304.00 | 0.12 |
| 8 | 688037 | 芯源微 | 900.00 | 88,488.00 | 0.11 |
| 9 | 688200 | 华峰测控 | 600.00 | 86,070.00 | 0.11 |
| 10 | 605358 | 立昂微 | 3,300.00 | 77,880.00 | 0.10 |
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