| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 中信建投证券股份有限公司-华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 80,274,500 | 21.66 |
| 2 | 白宪玲 | 8,400,000 | 2.27 |
| 3 | 赵宇飞 | 5,021,200 | 1.35 |
| 4 | 中信证券股份有限公司 | 3,534,700 | 0.95 |
| 5 | 中国国际金融股份有限公司 | 3,006,490 | 0.81 |
| 6 | 毕大愚 | 2,210,600 | 0.60 |
| 7 | 胡广设 | 2,100,000 | 0.57 |
| 8 | 国信证券股份有限公司 | 2,052,700 | 0.55 |
| 9 | 冯惠广 | 1,776,600 | 0.48 |
| 10 | 肖玉申 | 1,750,100 | 0.47 |
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