| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 00981 | 中芯国际 | 217,000.00 | 8,845,823.81 | 5.45 |
| 2 | 688608 | 恒玄科技 | 17,343.00 | 6,035,017.14 | 3.72 |
| 3 | 688012 | 中微公司 | 29,931.00 | 5,456,421.30 | 3.36 |
| 4 | 688002 | 睿创微纳 | 73,639.00 | 5,134,111.08 | 3.16 |
| 5 | 688279 | 峰岹科技 | 25,733.00 | 4,773,471.50 | 2.94 |
| 6 | 688361 | 中科飞测 | 56,377.00 | 4,746,379.63 | 2.92 |
| 7 | 688072 | 拓荆科技 | 30,865.00 | 4,744,259.15 | 2.92 |
| 8 | 688008 | 澜起科技 | 55,695.00 | 4,566,990.00 | 2.81 |
| 9 | 688111 | 金山办公 | 13,931.00 | 3,901,376.55 | 2.40 |
| 10 | 688037 | 芯源微 | 34,777.00 | 3,728,094.40 | 2.30 |
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