| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 62,000.00 | 27,417,020.00 | 14.77 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 149,100.00 | 27,180,930.00 | 14.65 |
| 3 | 688126 | 沪硅产业 | 570,929.00 | 10,687,790.88 | 5.76 |
| 4 | 688120 | 华海清科 | 57,319.00 | 9,669,715.30 | 5.21 |
| 5 | 300346 | 南大光电 | 239,488.00 | 7,577,400.32 | 4.08 |
| 6 | 688072 | 拓荆科技 | 48,500.00 | 7,454,935.00 | 4.02 |
| 7 | 300604 | 长川科技 | 152,900.00 | 6,866,739.00 | 3.70 |
| 8 | 688361 | 中科飞测 | 77,600.00 | 6,533,144.00 | 3.52 |
| 9 | 688019 | 安集科技 | 40,737.00 | 6,183,876.60 | 3.33 |
| 10 | 688037 | 芯源微 | 55,730.00 | 5,974,256.00 | 3.22 |
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