| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 002371 | 北方华创 | 14,200.00 | 6,279,382.00 | 14.13 |
| 2 | 688012 | 中微公司 | 34,283.00 | 6,249,790.90 | 14.07 |
| 3 | 688126 | 沪硅产业 | 130,970.00 | 2,451,758.40 | 5.52 |
| 4 | 688120 | 华海清科 | 13,136.00 | 2,216,043.20 | 4.99 |
| 5 | 300346 | 南大光电 | 54,880.00 | 1,736,403.20 | 3.91 |
| 6 | 688072 | 拓荆科技 | 11,076.00 | 1,702,491.96 | 3.83 |
| 7 | 300604 | 长川科技 | 35,100.00 | 1,576,341.00 | 3.55 |
| 8 | 688361 | 中科飞测 | 17,815.00 | 1,499,844.85 | 3.38 |
| 9 | 688019 | 安集科技 | 9,396.00 | 1,426,312.80 | 3.21 |
| 10 | 688037 | 芯源微 | 12,770.00 | 1,368,944.00 | 3.08 |
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