| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 688037 | 芯源微 | 261,803.00 | 28,065,281.60 | 9.53 |
| 2 | 688072 | 拓荆科技 | 177,652.00 | 27,306,888.92 | 9.28 |
| 3 | 688120 | 华海清科 | 158,138.00 | 26,677,880.60 | 9.06 |
| 4 | 601127 | 赛力斯 | 165,100.00 | 22,176,232.00 | 7.53 |
| 5 | 688630 | 芯碁微装 | 240,920.00 | 19,121,820.40 | 6.50 |
| 6 | 832491 | 奥迪威 | 612,923.00 | 18,265,105.40 | 6.20 |
| 7 | 835640 | 富士达 | 592,731.00 | 17,675,238.42 | 6.00 |
| 8 | 688652 | 京仪装备 | 258,127.00 | 14,795,839.64 | 5.03 |
| 9 | 688627 | 精智达 | 162,327.00 | 14,286,399.27 | 4.85 |
| 10 | 688361 | 中科飞测 | 168,301.00 | 14,169,261.19 | 4.81 |
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