| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 中信建投证券股份有限公司-华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 58,694,000 | 19.99 |
| 2 | 中泰证券股份有限公司 | 9,000,000 | 3.06 |
| 3 | 白宪玲 | 8,400,000 | 2.86 |
| 4 | 安徽省伍号职业年金计划-交通银行 | 5,722,400 | 1.95 |
| 5 | 赵宇飞 | 5,021,200 | 1.71 |
| 6 | 昆仑信托有限责任公司-昆仑嘉成系列009号家族信托 | 3,840,300 | 1.31 |
| 7 | 陈锦娱 | 3,580,700 | 1.22 |
| 8 | 毕大愚 | 2,210,600 | 0.75 |
| 9 | 国信证券股份有限公司 | 2,113,100 | 0.72 |
| 10 | 胡广设 | 2,048,900 | 0.70 |
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