| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 招商中证半导体产业ETF发起式联接 | 259,257,500 | 39.57 |
| 2 | 招商证券股份有限公司 | 13,141,800 | 2.01 |
| 3 | 中泰证券股份有限公司 | 10,000,000 | 1.53 |
| 4 | 财通证券资管-交通银行-财通证券资管橙彩2号集合资产管理计划 | 8,190,100 | 1.25 |
| 5 | 方正证券股份有限公司 | 4,701,200 | 0.72 |
| 6 | 赵宇飞 | 4,300,000 | 0.66 |
| 7 | 上海易善私募基金管理有限公司-易善瑞泽一号私募证券投资基金 | 4,000,000 | 0.61 |
| 8 | 卢子梅 | 3,939,900 | 0.60 |
| 9 | 卢子梅 | 3,939,900 | 0.60 |
| 10 | 中国人保资产管理股份有限公司-安心收益投资产品 | 3,927,700 | 0.60 |
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