| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 富国中证细分机械设备产业主题交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 82,140,000 | 65.48 |
| 2 | 招商证券股份有限公司 | 7,030,077 | 5.60 |
| 3 | 华泰证券股份有限公司 | 2,291,901 | 1.83 |
| 4 | 中国国际金融股份有限公司 | 2,202,331 | 1.76 |
| 5 | 中信证券股份有限公司 | 1,645,915 | 1.31 |
| 6 | 方正证券股份有限公司 | 1,433,915 | 1.14 |
| 7 | 广发证券股份有限公司 | 1,178,612 | 0.94 |
| 8 | 浙商证券股份有限公司 | 960,201 | 0.77 |
| 9 | 孙昱晴 | 800,000 | 0.64 |
| 10 | 陈文钊 | 745,100 | 0.59 |
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