| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 272,161,200 | 69.81 |
| 2 | 玄元私募基金投资管理(广东)有限公司-玄元科新290号私募证券投资基金 | 10,000,000 | 2.57 |
| 3 | 中泰证券股份有限公司 | 10,000,000 | 2.57 |
| 4 | 玄元私募基金投资管理(广东)有限公司-玄元科新290号私募证券投资基金 | 10,000,000 | 2.57 |
| 5 | 中泰证券股份有限公司 | 10,000,000 | 2.57 |
| 6 | 北京恒德时代私募基金管理有限公司-恒德先锋8号私募证券投资基金 | 9,000,000 | 2.31 |
| 7 | 平安资产-工商银行-平安资产如意11号保险资产管理产品 | 5,692,013 | 1.46 |
| 8 | 中信证券股份有限公司 | 4,079,959 | 1.05 |
| 9 | 上海睿量私募基金管理有限公司-睿量质子1号私募证券投资基金 | 3,332,400 | 0.85 |
| 10 | 北京洞察力科技股份有限公司 | 1,476,600 | 0.38 |
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